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本发明公开了一种压电式微型泵，包括压电振子、上泵体、下泵体和阀片，压电振子与上泵体形成泵腔；所述上泵体与下泵体之间形成以进出口阀腔，阀片设置在阀腔内，具有一定的上下自由运动空隙，阀片在开启的过程中第一阶段为整体平动，第二阶段为阀片变形。本发明既扩大了阀片的开启程度，又能够使阀片与泵腔压力变化具有很好的跟随性，解决了现有技术中压电泵阀片开度小，流动阻力大，阀片粘接工艺复杂的问题。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113431765 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110807389.0 F04B 53/10 (2006.01)
(22)申请日 2021.07
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