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本发明涉及称重传感器技术领域,尤其涉及一种基于MEMS芯体的液压传导型质量传感器及其制作工艺,通过设置形变部、承载部形成的密封腔配合压力MEMS传感器感应液压的变化得到总质量的数据,密封腔的小腔体大面积式设计,能够充分的提高测量灵敏度;其中,在形变部设置有突出于平面的受力点,并且变形板设置为能够将受力点往中心聚拢的收拢结构,使得发生形变过程是先由中心向四周均匀扩散,以形成均匀受力,同时形变部设置有双向的抵持边框和凸块作为双层防过载结构,有效的防止测量过载导致传感器失灵,配合本身的高刚度达到有效的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113447101 A
(43)申请公布日 2021.09.28
(21)申请号 202110793475.0
(22)申请日 2021.07.14
(71)申请人 深圳市信为科技发展有限公司
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