制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用.pdfVIP

制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用.pdf

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本发明公开了制备钙钛矿吸收层的设备和方法及其应用,制备钙钛矿吸收层的设备包括:无机腔室、沉积腔室和有机腔室,所述无机腔室上设有第一进气口和第一压力调节口,所述无机腔室内设有第一蒸发舟,所述第一蒸发舟上盛放无机前驱物;所述沉积腔室与所述无机腔室连通,所述沉积腔室与所述无机腔室的连接处设有第一阀门,所述沉积腔室内设有基底载台,所述基底载台上方设有可转动地挡板,所述基底载台的倾角可调,并且所述沉积腔室上设有排气口;所述有机腔室与所述沉积腔室连通,所述有机腔室与所述沉积腔室的连接处设有第二阀门,所述有机

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113451516 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110725392.8 C23C 14/24 (2006.01)

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