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用于背面平面视图薄片制备的方法和系统。平面视图薄片的背面由从工件中提取的样品制备。所述样品包括多个器件层和衬底层。在去除覆盖末级器件层的所述衬底层的至少一部分以获得样品表面之后，利用电子束交替扫描与所述样品表面相关的感兴趣区域（ROI）并自发蚀刻所述感兴趣区域，直到所述ROI内的所述末级器件层暴露为止。在所述末级器件层暴露以获得所述平面视图薄片的所述背面之后，可从所述样品背面去除一个或多个器件层。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113406359 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110276123.8
(22)申请日 2021.03.15
(30)优先权数据
16/819945
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