- 1、本文档共26页,其中可免费阅读25页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本申请公开了一种籽晶的制备方法,尤其涉及一种碳化硅籽晶及其制备方法,属于半导体材料技术领域。该制备方法包括以下步骤:采用熔融态组分所形成的气相对籽晶生长面的台阶进行修复或重构;其中,所述熔融态组分包括反应元素中的至少一种,所述反应元素能够与所述籽晶中的至少一种元素形成固态物质。该制备方法可以对籽晶生长面被破坏的台阶进行修复,或者在籽晶生长面重构出新的台阶,可以简单高效的控制籽晶生长面的台阶密度,即实现籽晶生长面信息的可修复或可调控,为后续生长得到超高品质的晶体奠定基础。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113403688 B
(45)授权公告日 2022.08.02
(21)申请号 202110691445.9 C30B 23/00 (2006.01)
(22)申请日 2021.06
您可能关注的文档
- 一种虚实结合的仿真教学云服务平台.pdf
- 一种有机化学实验试管自动清洗烘干消毒装置.pdf
- 一种用于高效合成新戊二醇Ni@MoC/Al2O3催化剂的制备方法及其应用.pdf
- 一种IGBT静态输出特性检测系统及方法.pdf
- 电能表参数的处理方法和装置.pdf
- 视频超分模型构建处理方法、装置、计算机设备和介质.pdf
- 出水控制方法、装置、热水器、存储介质及处理器.pdf
- 一种数控机床用液压夹具.pdf
- 一种碳捕集淋洗水处理系统.pdf
- 一种针对于航空发动机的无线自供能测温系统及其测量方法.pdf
- 【期末专项】三年级语文上册08 习作指导与小练笔(含答案)部编版.docx
- 【暑假衔接】知识点专题十三 应用文写作指导(讲义+试题)五升六年级语文(含答案).docx
- 【暑假衔接】知识点专题04 把句子说具体 (讲义+试题) 一升二年级语文(含答案)部编版 .docx
- 【期末复习专项训练】小学语文五年级上册期末总复习《课外阅读专项练习第5套》(16篇,共7套)附答案.部编版.docx
- 【考点过关卷】•专项篇——课内阅读理解(一)试题-2022-2023学年语文五年级上册(部编版).docx
- 【经典阅读】四年级阅读训练——人物形象分析(知识梳理+例文解析)(有答案).docx
- 【暑假衔接】知识点专题09 口语交际 (讲义+试题) 一升二年级语文(含答案)部编版.docx
- 【暑假衔接】知识点专题14 口语交际(答题技巧+试题)三升四年级语文(含答案).docx
- 【暑假衔接】知识点专题十二 综合性学习(讲义+试题)四升五年级语文(含答案).docx
- 【期末复习专项训练】小学语文五年级上册期末总复习《课内阅读专项练习第4套》(19篇,共5套)附答案.部编版.docx
文档评论(0)