纵向运动平台及具有其的电子束检测设备.pdfVIP

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2023-06-22 发布于四川
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纵向运动平台及具有其的电子束检测设备.pdf

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本申请涉及一种纵向运动平台，适用于安装在电子束检测设备内，其特征在于，包括从下至上依次设置的平台底板、升降机构、绝缘支撑台及静电吸盘；升降机构的下端与平台底板固定连接，上端与绝缘支撑台固定，且其内部设置有压电陶瓷组件，使升降机构能够在竖直方向产生形变量而改变绝缘支撑台到平台底板之间的距离；静电吸盘下表面与绝缘支撑台固定连接，上表面用以吸附待测晶圆。通过升降机构升降运动，扫描电镜下端到待测晶圆的工作距离时刻在最佳间距，有极高的调节精度，配合电子束检测设备能解决因待测晶圆到扫描电镜下端距离的变化导致

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113394066 A (43)申请公布日 2021.09.14 (21)申请号 202110571872.3 (22)申请日 2021.05.25 (71)申请人中科晶源微电子技术（北京）有限公

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