- 1、本文档共18页,其中可免费阅读17页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种半导体结构的处理方法。所述半导体结构的处理方法包括如下步骤:提供一半导体结构,所述半导体结构包括基底以及位于所述基底表面区域的若干个刻蚀结构;形成至少覆盖所述刻蚀结构内壁的过渡层,所述过渡层用于减少流体对所述刻蚀结构的毛细管力及当作修复倒塌结构的牺牲层;干燥所述半导体结构;去除所述过渡层。本发明减少了刻蚀结构在清洗过程中出现坍塌或变形的概率,改善了半导体结构的性能,提高了半导体器件的产率和良率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394074 A
(43)申请公布日
2021.09.14
(21)申请号 20201
您可能关注的文档
- 一种放大器及放大装置.pdf
- 通信处理方法及相关设备.pdf
- 无线电接入网络优化的移动性度量的预测和估计.pdf
- 旋转电机的转子及其制造方法.pdf
- 集成压力感测的心脏植入装置.pdf
- 刷量用户识别方法及相关产品.pdf
- 具有热熔性的固化性有机硅片材的制造方法.pdf
- 微小构造体移载装置、模板头单元、微小构造体移载用模板部件及微小构造体集成部件的移载方法.pdf
- 电解液及电化学器件.pdf
- 电解液及电化学器件.pdf
- 《GB/T 19510.209-2023光源控制装置 第2-9部分:放电灯(荧光灯除外)用电磁控制装置的特殊要求》.pdf
- GB/T 43555-2023智能服务 预测性维护 算法测评方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 43555-2023智能服务 预测性维护 算法测评方法.pdf
- 中国国家标准 GB/T 19510.209-2023光源控制装置 第2-9部分:放电灯(荧光灯除外)用电磁控制装置的特殊要求.pdf
- GB/T 19510.209-2023光源控制装置 第2-9部分:放电灯(荧光灯除外)用电磁控制装置的特殊要求.pdf
- 《GB/T 43555-2023智能服务 预测性维护 算法测评方法》.pdf
- GB/Z 41275.22-2023航空电子过程管理 含无铅焊料航空航天及国防电子系统 第22部分:技术指南.pdf
- GB/T 23031.4-2023工业互联网平台 应用实施指南 第4部分:网络化协同.pdf
- 《GB/T 23031.4-2023工业互联网平台 应用实施指南 第4部分:网络化协同》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 23031.4-2023工业互联网平台 应用实施指南 第4部分:网络化协同.pdf
1亿VIP精品文档
相关文档
最近下载
- 2023-2024学年太原市晋源区三年级数学第一学期期末统考试题含答案.doc
- 人教版高中数学选修1-1第二章22圆锥曲线知识点总结.pdf
- 山东省济宁市2021-2022学年高二上学期期末考试数学试题.doc VIP
- 督导述职报告范文 ppt.pptx
- 2023上海市嘉定工业区农村青年干部招聘22人(共500题含答案解析)笔试历年难、易错考点试题含答案附详解.docx VIP
- en8f676v1.3.pdf
- 一种用于油水乳液分离的玻璃纤维膜及其制备方法.pdf VIP
- 状态-特质焦虑问卷(STAI)-试题.xlsx VIP
- 企业数据确权与全球合规趋势报告2023.pdf
- 混凝土回弹强度自动计算表.xls
文档评论(0)