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一种用于防止气载颗粒沉积在表面上的装置以及制造和使用该装置的方法。该装置包括具有顶面的垫，其中在顶面中形成开口，其中多个喷嘴位于开口中，使得喷嘴的一部分是出口，用于沿基本垂直的方向引导气流远离顶面。该装置还包括连接到喷嘴的软管，使得软管向垫中的喷嘴供气，以及在清洁软管后将气体带入软管的调节源。气流要求由系统自动调整(例如基于颗粒载量的特性)。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113412094 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 201880100585.0 (74)专利代理机构 北京泛华伟业知识产权代理
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