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本发明涉及一种基于RFMEMS开关的多刀多掷开关，包括：衬底；设置在衬底上且级联的两个MEMS单刀多掷开关；MEMS单刀多掷开关包括若干信号线、地线、若干上电极、若干驱动电极、功分器和若干空气桥。该多刀多掷开关通过将两个MEMS单刀多掷开关级联，不仅可以减小器件的插入损耗，提高了器件的隔离度，减小了器件的尺寸，扩宽了器件的工作频率，而且可以实现多通道信号的选通功能。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394059 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110502070.7
(22)申请日 2021.05.08
(71)申请人 中北大学南通智能光机电研究院
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