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本公开涉及有机器件及其制造装置、蒸镀室的评价及维护方法、标准掩模装置及其制造方法、标准基板。有机器件的制造装置的蒸镀室的评价方法具备：蒸镀工序，在蒸镀室中，经由标准掩模装置的标准掩模的贯通孔使材料蒸镀于包含标准标记的标准基板，在标准基板上形成蒸镀层；搬出工序，将形成有蒸镀层的标准基板从制造装置搬出；以及观察工序，观察从制造装置搬出的标准基板中的标准标记与蒸镀层的位置关系。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113388813 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110267508.8 C23C 14/04 (2006.01)
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