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本发明提供在制冷装置升降时，能够抑制压缩装置与致冷剂输送管的连接固定部的破损的基片处理装置及其制造方法。基片处理装置包括：内部有载置基片的载置台和靶材保持件的处理容器；在其与载置台的下表面之间具有间隙地配置，具有制冷机和与制冷机层叠的制冷载热体的制冷装置；使制冷装置升降的第一升降装置；制冷装置的内部的对间隙供给致冷剂的致冷剂流路；对供给到致冷剂流路的致冷剂进行压缩的压缩装置；以及与作为致冷剂流路口的第一连接固定部和跟压缩装置连通的第二连接固定部连接固定的致冷剂输送管，致冷剂输送管在第一连接固定部
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113394129 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202110224018.X
(22)申请日 2021.03.01
(30)优先权数据
2020-0422
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