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辐射系统包括辐射源(SO)和等离子体产生器(16)。所述辐射源包括：壳体(9)，所述壳体设置有出口孔(8)；和辐射产生器，所述辐射产生器能够操作以在所述壳体中产生输出辐射并且引导所述输出辐射的至少一部分穿过所述出射孔。所述等离子体产生器能够操作以产生等离子体(18)，所述等离子体至少部分地延伸横穿所述输出辐射的被引导通过所述出射孔的所述至少一部分。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113396644 A
(43)申请公布日 2021.09.14
(21)申请号 202080012576.3 彼得 ·哈弗曼斯 R ·奥斯特霍特
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