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本公开涉及压电驱动装置及其控制方法。不论被驱动部的惯性的大小如何均能够进行高精度的位置控制。压电驱动装置的控制部进行以下控制：使用压电驱动装置与被驱动部之间的最大摩擦力和被驱动部的质量，计算压电驱动装置施加给被驱动部的最大减速度，计算从由位置传感器检测出的被驱动部的当前位置到目标位置为止的距离，使用最大减速度和从被驱动部的当前位置到目标位置为止的距离来计算被驱动部的基准速度，根据由位置传感器检测出的被驱动部的当前位置的时间变化来计算被驱动部的速度，在被驱动部的当前速度小于基准速度的情况下，从压电
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113411008 A
(43)申请公布日 2021.09.17
(21)申请号 202110275658.3
(22)申请日 2021.03.15
(30)优先权数据
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