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本发明公开了一种石英坩埚壁厚快速检测装置，包括顶板、承载板、底板、固定于底板的圆环形挡板，所述底板处具有多个半球形凹槽，每个半球形凹槽内具有一个球体，所述承载板位于所述底板上方，被多个所述球体支撑；所述顶板通过电动伸缩杆连接有检测单元，所述检测单元包括活动板、内径检测环和外径检测环，外径检测环通过第一连接杆与所述活动板连接，所述内径检测环通过第二连接杆与所述活动板连接。本发明的检测装置能够对石英坩埚的内外径及壁厚进行快速检测是否合格。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113390318 A
(43)申请公布日
2021.09.14
(21)申请号 20201
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