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本申请实施例提供一种真空机台快速复机方法,涉及太阳能电池生产技术领域。真空机台快速复机方法用于使真空机台的腔室内的真空值达到P0,温度达到T0,包括以下步骤:S1、清理真空机台的腔室内的积水;S2、使腔室内的真空值降低至P1,P1>P0,使腔室内的温度升温至T1,T1>T0;S3、使腔室的真空值进一步降低至P0,使腔室内的温度降温至T0。该真空机台快速复机方法能够缩短复机时间,满足快速复机需求,提高真空机台的稼动率。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113345979 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110574718.1
(22)申请日 2021.05.25
(71)申请人 通威太阳能(成都)有限公司
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