底板的污染防止方法.pdfVIP

底板的污染防止方法.pdf

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本发明的底板的污染防止方法，包括：在具有底板以及覆盖所述底板的盖的反应器内制造多晶硅的工序；从所述底板除去所述盖的工序；以及通过隔离装置隔离包含所述底板的空间的工序。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113371716 A (43)申请公布日 2021.09.10 (21)申请号 202110236189.4 (22)申请日 2021.03.03 (30)优先权数据 2020-0410

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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