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公开了质量流量计和包括质量流量计的质量流量控制器。质量流量计包括用于气体的主流路和主流路内的具有长度L的旁通部。旁通部包括连续流段，该连续流段包括多个均具有长度L的连续毛细管。旁通部还包括在旁通部内形成n‑1个空间的n个流段，其中n大于等于2，并且每个流段均具有多个毛细管。质量流量计还包括至少一个热传感器，该热传感器包括传感器管，并且传感器管越过至少一个流段地定位以使该至少一个流段周围的一部分气体分流并响应于所述气体的被分流部分提供测得的流量信号。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113348340 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202080010709.3 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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