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本发明提供了一种管状靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：准备不锈钢内管和不锈钢外管，对所述不锈钢内管的外表面进行车螺纹加工，对所述不锈钢外管的内表面进行喷砂处理；将得到的加工后的不锈钢内管和不锈钢外管同轴焊接于第一不锈钢盖板上，形成环形腔体；将混合后的合金粉末装入所述环形腔体中进行夯实处理，然后将第二不锈钢盖板焊接于所述不锈钢内管和不锈钢外管的另一端，依次进行脱气处理和热等静压处理，得到管状靶材；所述制备方法采用热等静压一体成型法，通过对不锈钢内管以及外管进行改进，有效提高了管状靶材的致
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113337799 A
(43)申请公布日 2021.09.03
(21)申请号 202110612746.8 C22C 27/06 (2006.01)
(22)申请日 2
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