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一种由天然分子合成的光刻胶树脂单体及其制备方法和应用.pdfVIP

一种由天然分子合成的光刻胶树脂单体及其制备方法和应用.pdf

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    本发明涉及光刻胶技术领域，且公开了一种由天然分子合成的光刻胶树脂单体及其制备方法和应用，所述光刻胶树脂单体的结构通式如下：其中，R为氢或烷基，M为脂环烃。本发明中光刻胶树脂单体上含有缩醛结构，在曝光时，光致产酸剂基团会产生酸，在酸的作用下，缩酮结构会断开，导致聚合主链断开，形成小片段，能够改善光刻图形的边缘粗糙度，提高光刻胶的分辨率，同时形成了具有良好碱溶性的羟基，有利于显影过程中的溶解，增加曝光后在光刻胶在显影液中溶解速度。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113354704 A (43)申请公布日 2021.09.07 (21)申请号 202110700755.2 (22)申请日 2021.06.24 (71)申请人 徐州博康信

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