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本发明的目的在于，提供作为光刻用膜形成材料或光学部件形成用材料有用的新型化合物、包含来自该化合物的构成单元的树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和纯化方法。一种式(1)所示的化合物、包含来自该化合物的构成单元的树脂、含有选自由该化合物和该树脂组成的组中的1种以上的组合物、使用该组合物的抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法、及其纯化方法。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113365967 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202080012064.7 (51)Int.Cl.
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