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一种精密线性马达平台包括：基底部件，以沿长度方向延长的方式形成；至少一个引导轨，设置在基底部件；移动部件，以能够沿引导轨滑动的方式设置；永磁体组件，设置在基底部件与移动部件中的任一者；线圈组件，设置在基底部件与移动部件中的另一者，以产生磁力并通过与永磁体组件的相互作用使移动部件沿引导轨移动；多个涡流管，设置在基底部件与移动部件中的至少任一者；多个供应管，分别连接到多个涡流管，以对多个涡流管供应压缩空气；以及控制部，控制线圈组件的作动。精密线性马达平台具有以比较低的价格实现精确且精密的作动的效果。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113364241 A
(43)申请公布日 2021.09.07
(21)申请号 202110245183.3
(22)申请日 2021.03.05
(30)优先权数据
10-2020-0
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