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2023-06-21 发布于四川
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粘贴装置和粘贴方法.pdf

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粘贴装置(1)，将薄膜状膜(F)粘贴在工件(W)上，具备：箱体(B)，在其内部把持膜(F)；下部真空腔体(32)及上部真空腔体(22)，在箱体(B)内利用膜(F)划分形成；气压调整装置(5)，调整真空腔体(22，32)内的气压；移动机构(6)，在下部真空腔体(32)内使工件(W)移动；及，控制装置(7)，控制气压调整装置(5)和移动机构(6)。控制装置(7)将真空腔体(22，32)内减压至低于大气压的规定的第一气压，然后，在使膜(F)与工件(W)抵接的状态下使上部真空腔体(22)内上升至高于第一

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 113382838 B (45)授权公告日 2023.04.11 (21)申请号 202080011304.1 (72)发明人中川大辅　宫本和树　 (22)申请日 2020.0

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