- 1、本文档共18页,其中可免费阅读17页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明涉及成膜装置和成膜方法。提供能够形成高品质的半导体膜的技术。本公开的一技术方案的成膜装置具有:旋转台,其设于真空容器内;载置台,其沿着所述旋转台的周向设置,用于载置基板;处理区域,在该处理区域,朝向所述旋转台的上表面供给处理气体;热处理区域,其沿着所述旋转台的周向与所述处理区域分离开地配置,在该热处理区域,以比所述处理区域的温度高的温度对所述基板进行热处理;以及冷却区域,其沿着所述旋转台的周向与所述热处理区域分离开地配置,在该冷却区域,冷却所述基板。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113293360 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110096134.8
(22)申请日 2021.01.25
(30)优先权数据
2020-0188
您可能关注的文档
- 异常检测方法以及装置.pdf
- 数据处理系统、方法及电子设备.pdf
- 数据处理方法、基于游戏的处理方法、装置和电子设备.pdf
- 结构化知识蒸馏方法、装置、设备及计算机可读存储介质.pdf
- 计算图的处理方法、装置及设备.pdf
- 集成电路及其形成方法.pdf
- 数据处理方法、视觉稿的处理方法、系统及电子设备.pdf
- 一种便于更换的口罩耳带裁剪装置.pdf
- 文件处理方法、信息显示方法、装置及设备.pdf
- 一种立体点块状无拼缝提花面料及其制备方法.pdf
- 贵州省铜仁第一中学2024-2025学年高二上学期开学考试数学试题(原卷版).docx
- 2024届浙江省乐清育英校中考一模生物试题含解析.pdf
- 吉林省实验中学2024-2025学年高二上学期假期验收(开学)考试数学试题.docx
- 系统集成项目管理工程师模拟练习题含答案.pdf
- 江西省上饶市第一中学2024-2025学年高二上学期开学考试数学试题(解析版).docx
- 内蒙古自治区兴安盟乌兰浩特第一中学2024-2025学年高二上学期开学考试 数学试题(含解析).docx
- 广西柳州市柳城县中学等部分校联考2024-2025学年高二上学期入学检测数学试题(解析).docx
- 安徽省多校联考2024-2025学年高二上学期开学考试数学试题(解析).docx
- 机械租赁合同常用范本5篇.pdf
- 广东省2023-2024学年高二下学期6月统一调研联考数学试题(解析版).docx
文档评论(0)