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本发明提供一种可跟随磨损薄膜热电偶温度传感器及其制作方法，本发明传感器，包括基底、固定在基底内的第一补偿导线和第二补偿导线、依次沉积在基底上的第一热电极薄膜和第二热电极薄膜。且第一热电极薄膜和第二热电极薄膜相互搭接构成可跟随磨损的热接点区域，还包括沉积在两个热电极薄膜上的保护薄膜。本发明将引线和基底材料烧结形成一体化楔形结构作为基底，在楔形基底斜面上制备有可跟随传感器测温端磨损的薄膜热电偶热接点区域，最后沉积保护薄膜，具有体积小、可跟随磨损、热接点自更新、寿命长、动态响应速度快、灵敏度高等优点。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113324669 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110548219.5
(22)申请日 2021.05.19
(71)申请人 大连交通大学
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