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本发明涉及一种获得单晶锭的纵向取向标记的表面特性参数的方法、一种生产取向被标记的单晶锭的方法、以及一种用于执行该方法的锭扫描器系统。该方法包括围绕旋转轴线旋转单晶锭,记录在角位置处从测量点到单晶锭的表面的距离,将距离与背景形状进行比较以识别偏离背景形状的距离,以及记录偏离背景形状的距离的角位置和相应距离。表面特性参数根据具有偏离背景形状的距离的连续角位置和相应距离被限定。该方法允许确定表面特性参数,不确定性较低。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113330148 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202080010812.8 (74)专利代理机构 中科专利商标代理有限责任
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