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2023-06-20 发布于四川
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本发明公开了一种光刻板板架，光刻板板架，包括：框体1和至少一组支撑组件13；框体1至少包括两块相对设置的放置板，至少一组支撑组件13相对设置在放置板上，至少一组支撑组件13形成放置轨道并对放入其间的光刻板3进行支撑；框体上还设置有阻挡结构，阻挡结构用于对光刻板3进行限位；阻挡结构之间留有空隙区域，空隙区域用于流通洗液至光刻板3上，实现对光刻板3的清洗。本发明实施例通过设计与光刻板对应的框架结构，利用支撑组件实现对光刻板的支撑放置，并设计一洗液流通区域，使得洗液可以在光刻板上流通，一方面提高了光刻

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113296350 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 202110503508.3 (22)申请日 2021.05.10 (71)申请人中国电子科技集团公司第十一研究

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