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本发明涉及一种用于应力传感器的微机械构件，该微机械构件具有带有第一衬底表面(10a)的第一衬底(10)、带有第二衬底表面(12a)的第二衬底(12)和构造在第二衬底(12)处和/或第二衬底中的分析处理电路(20)，其中，第一衬底(10)借助至少一个借助金属键合方法形成的电接通部(22)固定在第二衬底(12)处，该电接通部构造在第一衬底表面(10a)与第二衬底表面(12a)之间的中间体积(14)内，其中，至少一个电极(16，16a，16b，62)和至少一个对电极(18a，18b，18c)布置在中间
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295304 A
(43)申请公布日 2021.08.24
(21)申请号 202110195298.6
(22)申请日 2021.02.19
(30)优先权数据
102020202
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