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本发明提供一种测试系统,用于测试探针卡,包含:测试载具及测试机。测试载具包含传导层,用于与探针卡电性接触。测试机传送测试信号至探针卡,其中通过探针卡的测试信号经由传导层回馈至测试机。其中,传导层包含至少一金属层或多个导电线路。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113295890 A
(43)申请公布日
2021.08.24
(21)申请号 20201
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