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本发明提供不易破损的物理量传感器、电子设备和移动体。关于物理量传感器，再将相互正交的三个方向设为第一方向、第二方向和第三方向时，具有：基板；以及可动体，与所述基板隔开空隙并在所述第三方向上对置，相对于所述基板在所述第三方向上位移，所述可动体具有：第一区域，具备在所述第三方向贯通并从所述第三方向观察时的开口形状为正方形的多个贯通孔；以及第二区域，不具备贯通孔，将所述贯通孔的一边的长度设为S0，将相邻的所述贯通孔彼此的间隔设为S1时，所述第二区域的所述第一方向的长度和所述第二方向的长度中的至少一方为
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113325200 A
(43)申请公布日 2021.08.31
(21)申请号 202110215442.8
(22)申请日 2021.02.25
(30)优先权数据
2020-0340
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