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本发明公开一种太阳能电池片的制造方法,包括:(1)对单晶硅片表面进行激光开孔;(2)激光开孔后进行酸洗,去除氧化层;(3)酸洗后进行碱制绒(各向异性),形成金字塔结构;(4)然后扩散、去除PSG、碱抛、氧化、正面沉积氮化硅、背面钝化、背面激光开孔、丝网印刷烧结,得到太阳能电池片。本发明的太阳能电池片制造方法在原有的工艺基础上增加了制绒前激光开孔,激光开孔形成凹坑,有效增加了制绒表面积,同时凹坑制绒后表面会形成侧面金字塔结构,增加对光的反射次数,从而提升光的利用率,增加光生载流子数量,提升ISC,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113314626 A
(43)申请公布日 2021.08.27
(21)申请号 202110578014.1
(22)申请日 2021.05.26
(71)申请人 江苏润阳世纪光伏科技有限公司
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