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本公开涉及一种红外探测器像素结构和红外探测器,红外探测器像素结构包括:衬底以及位于衬底上依次设置的第一结构层和第二结构层;第一结构层包括至少两个梁结构,每个梁结构分别连接中间支撑结构和微桥柱,由中间支撑结构向对应的微桥柱的梁路径中,交汇于同一节点的两条并行梁结构分别为第一半桥结构和第二半桥结构,第一半桥结构和第二半桥结构形成热对称结构;其中,第一半桥结构的长度大于第二半桥结构的长度,沿垂直于衬底的方向,第一半桥结构的厚度大于第二半桥结构的厚度;第一结构层包括第一电极层,第二结构层包括第二电极层和
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113328001 B
(45)授权公告日 2021.12.28
(21)申请号 202110138414.0 (56)对比文件
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