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2023-06-17 发布于四川
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用于使流通池基板图案化的系统和方法.pdf

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本发明提供了一种使用光引发的化学反应使流通池基板图案化的方法，该方法包括通过如下制造平面波导流通池：在玻璃基板层上形成光耦合光栅层；在光耦合光栅层上沉积芯层；在芯层上沉积包覆层；以及在包覆层中形成纳米孔；对包覆层进行硅烷化；用第一组反应物涂覆硅烷化的包覆层和纳米孔；将第二组反应物引入纳米孔中，其中该第二组反应物包括目标反应物和光敏光引发剂体系；将光源耦合到光耦合光栅并且在平面波导流通池内将光内部导向以用于光引发第一组反应物与第二组反应物之间的化学反应，其中该光引发的化学反应将目标反应物共价结合到

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113286652 A (43)申请公布日 2021.08.20 (21)申请号 202080007617.X (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

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