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公开了三维半导体存储器件和包括其的电子系统。所述三维半导体存储器件包括:衬底,包括单元阵列区域和延伸区域;位于所述衬底上的外围电路结构,包括多个外围晶体管;堆叠结构,包括交替堆叠在所述外围电路结构上的层间电介质层和栅电极;接触,在所述延伸区域上穿透所述堆叠结构并与所述外围晶体管电连接,并包括突出部和竖直部,所述突出部接触所述多个栅电极中的一个栅电极的侧壁,所述竖直部穿透所述堆叠结构;以及电介质图案,介于所述竖直部和所述多个栅电极的相应的侧壁之间。每个所述电介质图案的顶表面和底表面分别与相邻的所述
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114725114 A
(43)申请公布日 2022.07.08
(21)申请号 202111573930.2 H01L 27/11568 (2017.01)
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