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本发明公开了一种用于表面清洗和修复的等离子体源,通过第一工作气体通孔处输入Ar、He等气体、第二工作气体通孔处通入D2气体,控制电源的正极、负极分别与外电极、内电极相连,在耦合处放电形成混合等离子体,经等离子喷嘴处喷出作用于待作业体的瓦片间狭缝,达到清洗目的,同时清洗出的杂质可以沿导流孔吸入,经除尘泵接口处排出;需要修复表面时在钨靶上加载通偏压电源,通过溅射钨靶对表面进行修复。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113207216 B
(45)授权公告日 2022.02.11
(21)申请号 202110569053.5 (56)对比文件
(22)申请日 2021.05.2
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