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本发明实施例公开了一种涡电流传感器的测厚校准方法、装置及研磨系统,校准方法包括:触发测量校准后,获取涡电流传感器检测基准片表面上金属膜层的最大膜厚时对应的电信号;获取涡电流传感器检测基准片表面上金属膜层的零膜厚时对应的电信号;零膜厚时对应电信号为涡电流传感器检测基准片附近的稳态介质的信号强度;根据零膜厚时对应的电信号以及最大膜厚时对应的电信号拟合得到本次校准后的金属膜厚测量公式,金属膜厚测量公式用于界定测量得到的电信号与金属膜层厚度之间的理论计算关系。本发明实施例提供的技术方案减少了研磨液和硅片
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113231955 B
(45)授权公告日 2022.08.23
(21)申请号 202110623292.4 B24B 37/04 (2012.01)
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