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本申请提供了一种三维存储器及其制备方法。该方法包括：在衬底上形成包括交替叠置的电介质层和牺牲层的叠层结构；形成贯穿叠层结构的沟道孔，以及在沟道孔的侧壁上依次形成功能层和沟道层，以形成沟道结构；形成贯穿至少一个牺牲层的顶部选择栅切口；经由顶部选择栅切口，依次去除至少一个牺牲层和功能层的与至少一个牺牲层对应的部分，以形成选择栅极间隙；以及在选择栅极间隙的内壁上形成绝缘层，并在形成有绝缘层的选择栅极间隙内形成选择栅极层。该三维存储器及其制备方法能够提高顶部选择晶体管的阈值电压的稳定性，并提高顶部选择晶
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113206105 B
(45)授权公告日 2022.08.12
(21)申请号 202110490025.4 (56)对比文件
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