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本发明公开一种进气装置及反应腔室，反应腔室包括腔室本体和喷淋头，喷淋头设置于腔室本体的顶部，进气装置用于和喷淋头连通，进气装置包括第一管道和进气组件；第一管道用于与喷淋头相连通，第一管道的侧壁开设有第一通孔，第一管道的进气端用于通入第一反应气体或清洗气体；进气组件包括组件本体，组件本体套设于第一管道的外侧，组件本体内具有环绕第一管道的至少两个通道，组件本体的外侧设有第二通孔，第二通孔与其相邻近的通道相连通，组件本体内设有第三通孔，第三通孔用于连通相邻的两个通道，组件本体内侧设有第四通孔，第四通孔
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113201725 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110477358.3
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
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