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本发明涉及一种包括流体处理结构的光刻浸没设备，包括流体处理结构，所述流体处理结构被配置成将浸没流体限制至一区域并且包括：弯液面控制特征，具有在所述流体处理结构的表面上的提取器出口；和气刀系统，所述气刀系统位于所述提取器出口的径向外部并且包括每个具有出口的通道，所述通道包括在所述表面上具有多个对应的第一出口的多个第一通道和在所述表面上在所述第一出口的径向外部具有多个对应的第二出口的多个第二通道，其中在曝光期间所述表面面向且实质上平行于衬底的顶表面，所述第一出口和第二出口布置在与所述衬底的距离大于所
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113204178 A
(43)申请公布日 2021.08.03
(21)申请号 202110514017.9 A ·乌卢肯 T ·W ·波莱
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