微机械构件和用于微机械构件的制造方法.pdfVIP

微机械构件和用于微机械构件的制造方法.pdf

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本发明涉及一种微机械构件,其膜片(12)保持与腔的底侧间隔开并且在其膜片内侧(12a)处具有支撑结构(20a),其中,所述支撑结构(20a)中的每个都具有各自的第一边缘元件结构(32)、各自的第二边缘元件结构(34)和各自的布置在所分配的第一边缘元件结构(32)与所分配的第二边缘元件结构(34)之间的至少一个中间元件结构(36),其中,针对所述支撑结构(20a)中的每个都能够分别限定对称平面(38),关于所述对称平面,至少相应的支撑结构(20a)的所述第一边缘元件结构(32)和所述相应的支撑结构

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113226976 A (43)申请公布日 2021.08.06 (21)申请号 201980085003.0 J ·赖因穆特  (22)申请日 2019.12.

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