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本发明提出一种传感器装置(1),所述传感器装置包括至少一个衬底(2);边缘区域(RB,RS),所述边缘区域布置在所述衬底(2)上并且在横向上限界所述衬底(2)上方的内部区域(IB);膜片(7),所述膜片锚定在所述边缘结构(RS)上并且至少部分地跨越所述内部区域(IB),其中,所述膜片(7)在所述内部区域(IB)中包括至少一个由于压力(p)而可运动的区域(BB),所述可运动的区域封闭所述膜片(7)与所述衬底(2)之间的腔(K);第一中间载体(ZT1),所述至少一个第一中间载体在所述膜片(7)下方在
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113226979 A
(43)申请公布日 2021.08.06
(21)申请号 201980085000.7 (74)专利代理机构 永新专利商标代理有限公司
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