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本发明公开了一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法，涉及到芯片清洗设备领域，包括一种带有监测系统的芯片清洗机，包括清洗组件、干燥组件以及监测组件，有益效果：本发明通过控制翻转电机对料板一端的转轴进行驱动，驱使料板进行180度翻转，从而完成对料板上所固定的芯片进行翻面，方便由料板底部设有的喷液管对芯片进行双面清洗，由干冰喷洗设备通过导气管对干冰喷头供应干冰，使干冰喷头底端的喷嘴对芯片上表面进行喷射干冰，同时由丝杆驱动箱对丝杆进行驱动，驱使干冰喷头进行横向移动，对料板上固定的多个芯片进行喷射干冰，
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113182248 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110388799.6
(22)申请日 2021.04.12
(71)申请人 常州机电职业技术学院
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