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本发明提供了一种基于空域载频相移的多波长动态相位测量装置及方法，包括若干激光器组成的激光器组件、前分光镜组件、光束耦合组件、检测物体、显微物镜、反射镜组件、后分光镜组件和成像器件，激光器组件各激光器射出的光束被前分光镜组件分为检测光束和参考光束，所述检测光束依次穿过检测物体和显微物镜后形成物光被成像器件接收，不同激光器发出的参考光束被反射镜组件反射后被后分光镜组件耦合成共路传播的光束形成参考光，所述参考光被成像器件接收，所述物光和参考光能够在成像器件靶面发生干涉，通过所述成像器件单词曝光记录能够
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113155058 A
(43)申请公布日 2021.07.23
(21)申请号 202110474522.5
(22)申请日 2021.04.29
(71)申请人 范金坪
地址 518
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