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本申请提供一种基板干燥设备，其包括箱体、至少两个门体以及第一驱动机构。所述箱体包括至少两个干燥腔。至少两个所述干燥腔在第一方向上排列设置。至少两个门体活动连接于所述箱体。所述门体对应于所述干燥腔设置。第一驱动机构设置于所述箱体上，且位于所述箱体的第一侧。所述第一驱动机构连接于至少两个门体，所述第一驱动机构用于带动至少两个所述门体同步旋转以打开或者封闭所述干燥腔。本申请的基板干燥设备缩短了门体打开和关闭的时间，提高了生产效率，降低了成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113175791 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110375875.X
(22)申请日 2021.04.08
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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