JJF 1238-2022CN 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.docx

中华人民共和国国家计量技术规范 JJF 1238—2022 集成电路静电放电敏感度 测试设备校准规范 Calibration Specification for Testing Systems of Microcircuits Electro-static Discharge(ESD)Sensitivity 2022-09-26发布 2023-03-26实施 国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布 JJF 1238—2022 集成电路静电放电敏感度 测试设备校准规范 Calibration Specification for Testing Systems of Microcircuits Electro-static Discharge (ESD)Sensitivity JJF 1238—2022 代替 JJF 1238—2010 归 口 单位：全国无线电计量技术委员会 起 草 单位：中国电子技术标准化研究院 本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释 JJF 1238—2022 本规范主要起草人： 邢荣欣(中国电子技术标准化研究院) 吴京燕(中国电子技术标准化研究院) 参加起草人： 蔡依林(中国电子技术标准化研究院) JJF 1238—2022 I 目 录 引言 (Ⅱ) 1 范围 ( 1) 2 引用文件 ( 1) 3 术 语 ( 1) 4 概 述 ( 1) 5 计量特性 ( 3) 5.1 人体模型放电 ( 3) 5.2 机器模型放电 ( 3) 5.3 闩锁模型放电 ( 4) 6 校准条件 ( 4) 6.1 环境条件 ( 4) 6.2 测量标准及其他设备 ( 4) 7 校准项目和校准方法 ( 5) 7.1 校准项目 ( 5) 7.2 校准方法 ( 5) 8 校准结果的表达 ( 10) 9 复校时间间隔 ( 11) 附录A 原始记录格式 ( 12) 附录B 校准证书内页格式 ( 15) 附录C 主要项目校准不确定度评定示例 ( 18) JJF 1238—2022 Ⅱ 引 言 JJF 1071—2010 《国家计量校准规范编写规则》和 JJF 1059.1—2012 《测量不确定 度评定与表示》共同构成支撑本规范编制修订工作的基础性系列规范。 本校准规范参考了 GJB 548B—2005 《微电子器件试验方法和程序》、 ANSI/ESD STM5.1—2007 《静电放电敏感度测试 人体模型 (HBM) 器件级》、 JESD22-A115C— 2010《静电放电敏感度测试 机器模型 (MM)》 和 JESD78E—2016 《集成电路闩锁 测试》。 本规范是对JJF 1238—2010 《集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范》的修 订，主要修订内容： ——增加了机器模型和闩锁模型放电校准。 将人体放电电压校准范围由(500～8000) V 扩展到(100～8000) V, ——在人体模型放电参数校准中，增加了500Ω负载下放电电流参数的校准。 ——修订了测量不确定度评定的示例。 本规范历次版本发布情况： JJF 1238—2010。 JJF 1238—2022 1 集成电路静电放电敏感度 测试设备校准规范 1 范围 本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备(人体模型、机器模型和闩锁模 型)的校准。 2 引用文件 GJB 548B—2005 微电子器件试验方法和程序 ANSI/ESD STM5.1—2007 静电放电敏感度测试 人体模型 (HBM) 器件级 [For Electrostatic Discharge Sensitivity Testing—Human Body Model(HBM)Compo- nent Level] JESD22-A115C-2010 静电放电敏感度测试一机器模型 (MM) [Electrostatic Discharge(ESD)Sensitivity Testing, Machine Mode (MM)] JESD78E—2016 集成电路闩锁测试 (IC Latch-Up Test) 凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本规范；凡是不注日期的引用文 件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本规范。 3 术语 3.1 (人体模型)脉冲持续时间 (Human Body Model) pulse duration 放电电流从100%峰值衰减到36.8%峰值所需要的时间。 3.2 (机器模型)谐振频率 (Machine Model)res