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一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统.pdfVIP

一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统.pdf

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    本发明公开了一种用于光纤阵列的输入光信号发生装置及光刻系统，基于空间光调制器、数字微镜装置、微透镜阵列等光学元器件构成。本发明通过空间光调制器将入射的单束激光束调制成多光束阵列，然后通过数字微镜装置将光束阵列中任意子光束反射至微透镜阵列中的一个对应的微透镜中，每个子光束通过微透镜聚焦后入射到光纤阵列中的一根光纤中。通过对数字微镜装置的编程控制，可实现对光纤阵列中每一路输入光信号通断的高速切换。本发明可有效利用光源功率进行多路光分束并耦合进光纤阵列，并可实现光纤阵列中每根光纤独立可控的高速光开关信

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113189709 A (43)申请公布日 2021.07.30 (21)申请号 202110419670.7 (22)申请日 2021.04.19 (71)申请人 之江

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