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本发明公开了一种基于高分子聚合物的柔性湿度传感器及其制备方法，属于智能穿戴传感器技术领域。该柔性湿度传感器包括柔性衬底和由导电纳米颗粒通过磁控溅射形成于柔性衬底上的柔性电极，柔性电极位于柔性衬底之间，柔性衬底是由掺杂有湿敏材料的高分子聚合物纺丝液通过静电纺丝形成的湿敏聚合物薄膜。本发明采用静电纺丝技术与磁控溅射技术相结合制备得到夹层结构的柔性湿度传感器，其具有良好的柔性和循环使用性，同时对湿度的响应快，器件结构简单且设计灵活，可替代现有的金属电极用于智能穿戴领域。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113189150 A
(43)申请公布日 2021.07.30
(21)申请号 202110405587.4
(22)申请日 2021.04.15
(71)申请人 上海工程技术大学
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