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本发明涉及微型机器人领域,具体涉及一种液体环境下的微型机器人推进装置,包括:压电薄膜、插指电极、声能反射栅、基底,其中:基底上表面具有偏心设置的向下的凹部形成的凹槽;压电薄膜位于基底上方设置,且覆盖基底,压电薄膜位于凹槽的部分具有条形孔,条形孔与凹槽连通,使得位于凹槽上方的压电薄膜与凹槽形成开放性腔体,构成谐振腔;插指电极布设于压电薄膜表面,插指电极与条形孔平行设置;声能反射栅布设于压电薄膜表面,且位于插指电极的远离条形孔的一侧,声能反射栅与条形孔平行设置。本发明装置结构可靠、体积微小、能够实现
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113171545 B
(45)授权公告日 2023.04.07
(21)申请号 202110390905.4 (56)对比文件
(22)申请日 2021.04.12
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