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一种在衬底上形成的晶体管，包括：源区域；漏区；在源极区和漏极区之间延伸的沟道区；将源极区，漏极区和金属栅极耦合到多层金属互连结构上接触；和分子簇薄膜，其与金属栅极的导电金属部分接触，该分子簇薄膜包括纳米级分子簇，所述纳米级分子簇包括至少两个不同的键合原子，所述纳米级分子簇具有确定原子结构的电特性的选定原子结构；晶体管的分子簇薄膜位于金属栅极的导电金属部分和沟道区之间；所述分子簇薄膜包括单体，二聚体，三聚体和四聚体中的一种或多种；所述分子簇薄膜是所述金属栅极区域内的功函数金属膜，并且电特性是激活所
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113178482 A
(43)申请公布日 2021.07.27
(21)申请号 202110447249.7
(22)申请日 2021.04.25
(71)申请人 江苏集创原子团簇科技研究院有限
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