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本发明公开了一种具有新型抽排腔的浸液供给回收装置。本发明包括抽排开口、抽排腔以及密封抽排通道，所述的抽排腔通过多个与抽排开口与浸没流场连通，不同抽排腔连通的抽排开口沿周向交叉排布；抽排腔至少有两个，每个抽排腔分别通过一个密封抽排通道与浸液回收系统连通；各个抽排腔与密封抽排通道的连通点沿抽排腔周向均匀布置。本发明通过将浸液抽排开口交叉引入多个抽排腔再被密封抽排通道抽排的方法，使不同的抽排腔和密封抽排通道始终同时处理高流量负载和低流量负载的抽排开口，改善了浸液回收通道的负载均衡能力，提高了维持浸没流
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 113138541 B
(45)授权公告日 2022.02.01
(21)申请号 202010055888.4 (56)对比文件
(22)申请日 2020.01.17
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