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本发明涉及一种光罩的夹持装置，包括夹持组件、框体与手柄。夹持组件设置于框体上，夹持组件用于夹住光罩的侧边。框体的其中一框边的中部部位上设有连接部。手柄与连接部转动相连，手柄上设有第一驱动机构。第一驱动机构与连接部相连，第一驱动机构用于带动连接部转动。若需要处理光罩的表面问题，则通过夹持组件夹住光罩的侧边，手持手柄借助光罩的夹持装置将光罩从容器盒中取出，然后以手柄的中心轴为转动中心，由第一驱动机构带动连接部转动，便能实现将框体连带框体上的光罩从glass面翻转到pellicle面，即无需工作人员手
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113126419 A
(43)申请公布日 2021.07.16
(21)申请号 202110414347.0
(22)申请日 2021.04.16
(71)申请人 长鑫存储技术有限公司
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